的薄膜百格测试结果，秀眉微蹙。 **4b！** 还是4b！氮离子注入并没有带来预期的提升，甚至在某些批次上附着力还略有下降。 “沈工，氩离子我们做到4b已经是极限了，氮离子这条路… 似乎走不通？”助手有些沮丧。 沈清秋没有回答，她调出之前氩离子最佳参数（30KeV, 1E17）下的高倍电镜图，反复对比氮离子处理后的界面。**氩离子注入形成的“强化锚点”层更均匀致密，与薄膜的结合界面模糊而连续；而氮离子注入层则出现了细微的脆性相，界面处甚至有微裂纹！** “**氮的原子半径小，注入后可能形成了硬脆的氮化铝层，反而损害了韧性，成了薄弱点！**”沈清秋瞬间找到了关键，“方向错了！我们应该回到氩离子，但尝试**梯度注入**！低能量高剂量打底形成...

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